英文名称：Scanning Electron Microscopy

负责人：万鹏

房间及电话：F107，84986350

型号：QUANTA 450

生产厂家：美国FEI公司

性能指标：

• 分辨率二次电子(SE)成像

  高真空模式：30 kV时3.0 nm；3 kV时8.0 nm

  低真空模式：30 kV时3.0 nm；3 kV时10.0 nm

  环境真空模式：30 kV时3.0 nm

  背散射电子(BSE)成像

  高真空模式：30 kV时4.0 nm

  背散射电子(BSE)成像

  高真空模式：30 kV时4.0 nm

• 可控温度范围:-20℃~室温的冷台系统

• “穿过透镜”的专利压差真空系统

  镀膜仪（设备号：21201775）

  镀膜仪所需耗材：金靶、铂靶、铬靶等靶材，高纯氩气，减压阀，橡皮垫圈，真空泵油，油雾分离器等