英文名称：XPS，X-ray Photoelectron Spectroscopy

负责人：王秀娜、单 宇 房间及电话：F302，84986210

型号：Thermo Escalab Xi +

生产厂家：美国Thermo公司

仪器地点：西校区实验楼F-302

主要规格及技术指标

检测元素范围：除氢、氦外所有元素;

超高真空系统：1.分析室：μ金属制造，烘烤后真空度优于5×10-8Pa；

2.进样室：不锈钢制造，烘烤后真空度优于7×10-7Pa；

最佳能量分辨率：0.43eV，灵敏度优于4Mcps@1.0eV；

能量扫描范围：0~1486.6eV；

原始光斑面积：20~900um之间连续可调，调节步长小于10um。

主要功能及应用范围：利用软X-射线对固体激发，通过对产生的二次电子能量分布进行分析，从而实现位于表面的元素组成进行半定量的分析。通过对样品表面的可控离子刻蚀，可以进一步获得厚度方向上的元素分布信息，从而实现对样品的深度剖析。这对于确定催化剂活性中心、半导体界面处的载流子复合中心及实现相应的缺陷钝化具有不可替代的作用。同时还配有紫外光电子能谱功能，实现价带区域检测。