1. 加速电压:0.1-30KV; 2. 引出电压3.6V; 3. 二次电子分辨率:0.8nm 4. 能谱能量分辨率:Mn Kα的123 eV,C Kα的45 eV 5. 能谱最大计数率:60 K cps
微观形貌观测、元素分析。