1. 检测元素范围:除氢、氦外所有元素; 2. X射线功率最大可达600w; 3. 配备单一靶面Al/Ag双阳极; 4. 配备单Ar和Ar团簇s双模离子枪; 5. 可进行-100℃-800℃高低温XPS检测; 6. 配备了准原位高温催化反应池;
可对试样表面0~10nm深度范围内的3Li~92U进行元素成分、化学状态、价带电子态的高能量分辨和高灵敏度兼顾的XPS分析,同时具备Ag单色高能X射线源,能够完美应对常见过渡金属(如Ni/Co/Fe/Mn/Cr元素共存)的AES峰与XPS峰剥离。还可以进行高低温原位XPS检测,同时配备了准原位高温催化反应池。本仪器还具有惰性气体传输装置,使得样品可以在不接触空气的环境下直接进行XPS检测。